全自動晶圓卡塞清洗機(jī)性能卓越，價格具有競爭力，采用國際先進(jìn)本多換能器，優(yōu)質(zhì)發(fā)生器，具有安全可靠經(jīng)濟(jì)的特點，公司承諾為全自動晶圓卡塞清洗機(jī)提供一年免費保養(yǎng)，終身維護(hù).完善的售后服務(wù)，博得廣大客戶的青睞。

全自動晶圓卡塞清洗機(jī)特征：

1.適合無塵室清洗作業(yè)

2.采用過濾循環(huán)系統(tǒng)

3. 全自動晶圓卡塞清洗機(jī)數(shù)字顯示溫度控制指示器

4.故障報警診斷功能

5. 全自動控制、10英寸彩色觸摸屏控制面板

6. 所有槽體、噴淋管道全部SUS304材質(zhì)

7.加強(qiáng)型不銹鋼網(wǎng)帶輸送（不傷產(chǎn)品）

8. 全自動晶圓卡塞清洗機(jī)通過性好，風(fēng)刀高度可以設(shè)計為自動調(diào)節(jié)

9. 大小托盤可以共用，托盤水平擺放清洗

10. 輸送速度2米/分鐘（±30%可調(diào)節(jié)）

11. 全自動晶圓卡塞清洗機(jī)網(wǎng)帶寬度：400mm，600mm，800mm，1000mm，1200mm可選

12.無需壓縮空氣，避免二次污染

13. 自動清洗，干燥，避免人工清洗不徹底，返工現(xiàn)象

14.產(chǎn)品完全干燥無水痕

15.可以根據(jù)客戶要求出入口采用機(jī)械手自動上下料

全自動晶圓卡塞清洗機(jī)規(guī)格與參數(shù)：

1. 尺寸：約10880(L)×1800 (W)×2300 (H)（外形尺寸可以根據(jù)實際場地要求調(diào)整）

2.供電：380V 50HZ 三相五線

3. 全自動晶圓卡塞清洗機(jī)總功率：約 60-120KW

4. 重量：約3-6噸

5.純水用量：約5L/分鐘

全自動晶圓卡塞清洗機(jī)電控柜說明：

1）.獨立控制柜,有手動和自動切換功能

2）.本系統(tǒng)采用德國“西門子”PLC和觸摸屏,能控制顯示清洗機(jī)各工位運行狀態(tài)

3）.儲液槽安裝液位控制器，液位高低控制均接入PLC，加熱及泵浦按即定程序運行，并設(shè)有蜂鳴器、配三色工作指示燈，聲光報警裝置

4）. 全自動晶圓卡塞清洗機(jī)上下料處安裝緊急停車按鈕

5）.清洗機(jī)操作按鈕分布在電控柜外側(cè)，布置在清洗機(jī)進(jìn)口操作工位一側(cè)，控制盤加密碼鎖定，防止非授權(quán)人員修改并設(shè)定運行參數(shù)

6）.考慮到屏柜內(nèi)設(shè)備的散熱問題，屏柜設(shè)有散熱窗口及加裝散熱風(fēng)扇

7）.設(shè)備照明：電器柜內(nèi)——日光燈，電氣柜內(nèi)維修照明及插座

8）. 全自動晶圓卡塞清洗機(jī)操作按鈕有明顯標(biāo)識.